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Die Schichtdickenmessung gehört zur Gruppe der einseitigen berührungslosen Dickenmessung. Grundsätzlich kann bei opaken Objekten nur die Schichtdicke von elektrischen Isolatoren gemessen werden. Ein Wirbelstromsensor durchdringt die isolierende Schicht ohne Beeinträchtigung und misst den Abstand zu einer dahinterliegenden Schicht. Zeitgleich misst ein zweiter Sensor, z.B. ein Lasertriangulator, ein kapazitiver Sensor oder ein optisches Mikrometer auf die isolierende Schicht. Durch verrechnen beider Signale ergibt sich die Schichtdicke. Dieses Verfahren der Messung mit zwei Sensoren unterschiedlicher Prinzipien wird von Micro-Epsilon als Dualsensorik bezeichnet.
Zweite Möglichkeit ist die Schichtdickenmessung transparenter Materialien mittels konfokaler Messtechnik. Das austretende Weißlicht durchdringt das Messobjekt und liefert an jedem Materialübergang einen Peak im Signalgraphen. Beispielsweise kann damit die Glasdicke bei einem Spiegel gemessen werden.
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