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Kapazitive Sensoren - Modellübersicht
Kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon sind in unterschiedlichen Bauformen und Ausführungen erhältlich. Sie unterscheiden sich im Messbereich, der Bauform und der Fertigungstechnologie. Die kapazitiven Sensoren sind in zylindrischer Ausführung (mit integriertem Kabel oder Buchse) oder als Flachsensor (mit integriertem Kabel) verfügbar. Die Wegsensoren sind ohne Neukalibrierung austauschbar, damit ist der Sensorwechsel in kurzer Zeit erledigt. Der Großteil der Sensoren kann im Reinraum eingesetzt werden, die Verwendung im UHV ist ebenfalls möglich.
Klicken Sie auf die jeweilige Rubrik, um weitere Informationen über die kapazitiven Sensoren zu erhalten.
Zylindrische Sensoren mit Buchse
Zylindrische Sensoren mit Buchse
| Modell | Messbereich | Min. ø Target | Abmessung |
|---|---|---|---|
| CS005 | 0,05 mm | 3 mm | Ø6 × 12 mm |
| CS02 | 0,2 mm | 5 mm | Ø6 × 12 mm |
| CS05 | 0,5 mm | 7 mm | Ø8 × 12 mm |
| CSE05 | 0,5 mm | 6 mm | Ø6 × 12 mm |
| CS08 | 0,8 mm | 9 mm | Ø10 × 15 mm |
| CS1 | 1 mm | 9 mm | Ø10 × 21 mm |
| CS1HP | 1 mm | 9 mm | Ø10 × 20 mm |
| CSE1 | 1 mm | 8 mm | Ø8 × 12 mm |
| CS2 | 2 mm | 17 mm | Ø20 × 24 mm |
| CSE2 | 2 mm | 14 mm | Ø14 × 24 mm |
| CS3 | 3 mm | 27 mm | Ø30 × 24 mm |
| CS5 | 5 mm | 37 mm | Ø40 × 24 mm |
| CS10 | 10 mm | 57 mm | Ø60 × 24 mm |
CS005 sensors can't be used with the controller capaNCDT6019 and capaNCDT6100.
CS = capa Sensor
-HP = High Precision
CS = capa Sensor
-HP = High Precision
Details
Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.CS005
| Gewicht: | 2 g |
| Auflösung: | 0,0375 nm * |
| Linearität: | ±0,2 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS02
| Gewicht: | 2 g |
| Auflösung: | 0,15 nm * |
| Linearität: | ±0,2 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS05
| Gewicht: | 4 g |
| Auflösung: | 0,375 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CSE05
| Gewicht: | 2 g |
| Auflösung: | 0,375 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS08
| Gewicht: | 7 g |
| Auflösung: | 0,6 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS1
| Gewicht: | 8 g |
| Auflösung: | 0,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS1HP
| Gewicht: | 8 g |
| Auflösung: | 0,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CSE1
| Gewicht: | 3,5 g |
| Auflösung: | 0,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 10 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS2
| Gewicht: | 50 g |
| Auflösung: | 1,5 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CSE2
| Gewicht: | 20 g |
| Auflösung: | 1,5 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS3
| Gewicht: | 70 g |
| Auflösung: | 2,25 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS5
| Gewicht: | 95 g |
| Auflösung: | 3,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
CS10
| Gewicht: | 180 g |
| Auflösung: | 7,5 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | 32 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
* abhängig vom Controller
Zylindrische Sensoren mit integriertem Kabel
Zylindrische Sensoren mit integriertem Kabel
| Modell | Messbereich | Min. ø Target | Abmessung |
|---|---|---|---|
| CSH02-CAm1,4 | 0,2 mm | 7 mm | Ø8 × 14 mm |
| CSH05-CAm1,4 | 0,5 mm | 7 mm | Ø8 × 14 mm |
| CSH1-CAm1,4 | 1 mm | 11 mm | Ø12 × 14 mm |
| CSH1,2-CAm1,4 | 1,2 mm | 11 mm | Ø12 × 14 mm |
| CSH2-CAm1,4 | 2 mm | 17 mm | Ø20 × 14 mm |
Sensors with integrated cable can't be used with the controller capaNCDt6019.
CSH = capa Sensor Hybrid
CSH = capa Sensor Hybrid
Details
Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.CSH02-CAm1,4
| Gewicht: | 30 g |
| Auflösung: | 0,15 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH05-CAm1,4
| Gewicht: | 30 g |
| Auflösung: | 0,38 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH1-CAm1,4
| Gewicht: | 33 g |
| Auflösung: | 0,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH1,2-CAm1,4
| Gewicht: | 33 g |
| Auflösung: | 0,9 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH2-CAm1,4
| Gewicht: | 38 g |
| Auflösung: | 1,5 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
Flachsensoren mit integriertem Kabel
Flachsensoren mit integriertem Kabel
| Modell | Messbereich | Min. ø Target | Abmessung |
|---|---|---|---|
| CSH02FL-CRm1,4 | 0,2 mm | 7 mm | 10,5 × 8 × 4 mm |
| CSH05FL-CRm1,4 | 0,5 mm | 7 mm | 10,5 × 8 × 4 mm |
| CSH1FL-CRm1,4 | 1 mm | 11 mm | 17 × 12 × 4 mm |
| CSH1,2FL-CRm1,4 | 1,2 mm | 11 mm | 17 × 12 × 4 mm |
| CSH2FL-CRm1,4 | 2 mm | 17 mm | 20 × 20 × 5 mm |
Sensors with integrated cable can't be used with the controller capaNCDT 6019.
CSH = capa Sensor Hybrid
-FL = Flat Design
CSH = capa Sensor Hybrid
-FL = Flat Design
Details
Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.CSH02FL-CRm1,4
| Gewicht: | 28 g |
| Auflösung: | 0,15 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH05FL-CRm1,4
| Gewicht: | 28 g |
| Auflösung: | 0,38 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH1FL-CRm1,4
| Gewicht: | 30 g |
| Auflösung: | 0,75 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH1,2FL-CRm1,4
| Gewicht: | 30 g |
| Auflösung: | 0,9 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
CSH2FL-CRm1,4
| Gewicht: | 36 g |
| Auflösung: | 1,5 nm * |
| Linearität: | ±0,05 % d.M. * |
| Temperaturstabilität Empfindlichkeit: | -12 ppm/°C |
| Max. Betriebstemperatur: | +200 °C |
| Kabellänge: | 1,4 m |
* abhängig vom Controller
Kapazitive Spaltsensoren
Kapazitive Spaltsensoren
| Modell | Messbereich | Min. ø Target | Abmessung |
|---|---|---|---|
| CSG0,50-CAm2,0 | 0,9 - 1,9 | NA | 200x15x0,9 |
| CSG1,0-CAm2,0 | 0,9 - 2,9 mm | NA | 200x15x0,9 |
Sensoren mit integriertem Kabel, nicht geeignet für Controller capaNCDT 6019.
CSG = capa Sensor Gap
CSG = capa Sensor Gap
Details
Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.CSG0,50-CAm2,0
| Gewicht: | 77 g |
| Auflösung: | 4 nm * |
| Linearität: | ±0,1 % d.M. * |
* abhängig vom Controller
CSG1,0-CAm2,0
| Gewicht: | 77 g |
| Auflösung: | 8 nm * |
| Linearität: | ±0,1 % d.M. * |
* abhängig vom Controller
Katalog capaNCDT (PDF, 3.36 MB)
capaNCDT Sensoren Übersicht (Auszug aus Katalog)
3D CAD-Modelle für Sensoren capaNCDT Serie "CS-CSE" (STEP) (ZIP, 4.75 MB)
3D CAD-Modelle für Sensoren capaNCDT Serie "CSH" (STEP) (ZIP, 1.44 MB)
3D CAD-Modelle für Sensoren capaNCDT Serie "CSH-FL" (STEP) (ZIP, 732 KB)
3D CAD-Modelle für Sensoren capaNCDT Serie "CSG" (STEP) (ZIP, 1004 KB)
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