Kapazitive Wegsensoren - Modellübersicht

capaNCDT

Kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon sind in unterschiedlichen Bauformen und Ausführungen erhältlich. Sie unterscheiden sich im Messbereich, der Bauform und der Fertigungstechnologie. Die kapazitiven Sensoren sind in zylindrischer Ausführung (mit integriertem Kabel oder Buchse) oder als Flachsensor (mit integriertem Kabel) verfügbar. Die Wegsensoren sind ohne Neukalibrierung austauschbar, damit ist der Sensorwechsel in kurzer Zeit erledigt. Der Großteil der Sensoren kann im Reinraum eingesetzt werden, die Verwendung im UHV ist ebenfalls möglich.

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CS = capa Sensor
HP = High Precision

Details

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CS005

CAD Ansicht
Gewicht: 2 g
Auflösung: 0,0375 nm *
Linearität: 0,15 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -0,5 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS02

CAD Ansicht
Gewicht: 2 g
Auflösung: 0,15 nm *
Linearität: 0,04 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -2 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS05

CAD Ansicht
Gewicht: 4 g
Auflösung: 0,375 nm *
Linearität: 0,5 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -5 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CSE05

CAD Ansicht
Gewicht: 2 g
Auflösung: 0,375 nm *
Linearität: 0,15 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -5 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS08

CAD Ansicht
Gewicht: 7 g
Auflösung: 0,6 nm *
Linearität: 0,4 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -8 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS1

CAD Ansicht
Gewicht: 8 g
Auflösung: 0,75 nm *
Linearität: 1,5 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -32 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS1HP

CAD Ansicht
Gewicht: 8 g
Auflösung: 0,75 nm *
Linearität: 1,5 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -10 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CSE1

CAD Ansicht
Gewicht: 3,5 g
Auflösung: 0,75 nm *
Linearität: 2 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -10 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS2

CAD Ansicht
Gewicht: 50 g
Auflösung: 1,5 nm *
Linearität: 1 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -64 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CSE2

CAD Ansicht
Gewicht: 20 g
Auflösung: 1,5 nm *
Linearität: 2,6 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -64 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS3

CAD Ansicht
Gewicht: 70 g
Auflösung: 2,25 nm *
Linearität: 0,9 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -96 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS5

CAD Ansicht
Gewicht: 95 g
Auflösung: 3,75 nm *
Linearität: 2,5 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -160 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller

CS10

CAD Ansicht
Gewicht: 180 g
Auflösung: 7,5 nm *
Linearität: 15 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -320 nm/ppm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
* abhängig vom Controller
CSH = capa Sensor Hybrid

Details

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CSH02-CAm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 30 g
Auflösung: 0,15 nm *
Linearität: 0,054 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -2,4 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH05-CAm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 30 g
Auflösung: 0,38 nm *
Linearität: 0,13 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -6 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH1-CAm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 33 g
Auflösung: 0,75 nm *
Linearität: 0,13 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -12 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH1,2-CAm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 33 g
Auflösung: 0,9 nm *
Linearität: 0,84 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -14,4 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH2-CAm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 38 g
Auflösung: 1,5 nm *
Linearität: 0,5 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -24 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller
CSH = capa Sensor Hybrid
FL = Flache Bauweise

Details

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CSH02FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 28 g
Auflösung: 0,15 nm *
Linearität: 0,05 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -2,4 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH05FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 28 g
Auflösung: 0,38 nm *
Linearität: 0,09 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -6 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH1FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 30 g
Auflösung: 0,75 nm *
Linearität: 0,2 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -12 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH1,2FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 30 g
Auflösung: 0,9 nm *
Linearität: 0,84 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -14,4 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller

CSH2FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Gewicht: 36 g
Auflösung: 1,5 nm *
Linearität: 0,32 µm *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit: -24 nm/°C
Max. Betriebstemperatur: +200 °C
Kabellänge: 1,4 m
* abhängig vom Controller
CSG = capa Sensor Gap

Details

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CSG0,50-CAm2,0

CAD Ansicht
Gewicht: 77 g
Auflösung: 4 nm *
Linearität: 0,5 µm *
* abhängig vom Controller

CSG1,0-CAm2,0

CAD Ansicht
Gewicht: 77 g
Auflösung: 8 nm *
Linearität: 1 µm *
* abhängig vom Controller
info@micro-epsilon.ch