Select country / language
Mehr Präzision
Merkliste (0)Waferkanteninspektion
Das System zur Waferkanteninspektion erfasst hochpräzise über drei BV-Kameras die Oberfläche des Wafers. Damit werden zuverlässig Defekte ab einer Größe von 300 nm entdeckt. Fehlerhafte Wafer können spätere Prozessschritte erheblich beeinflussen und bis zum Stillstand der Produktion führen.
Details
• Zuverlässige Defekterkennung
• 3 - 5 mm der Waferkante
• Hochauflösendes BV-System
• Findet Partikel, Risse, Kratzer, punktförmige und flächige Defekte, Ätzfehler, Kristallwachstum, Verschmutzung oder Geometrieabweichungen
Abonnieren Sie jetzt unseren Messtechnik Newsletter
MICRO-EPSILON (SWISS) AG
(+41) 71 250 08 38
(+41) 71 250 08 69
E-Mail senden
info@micro-epsilon.ch
Schweiz [DE] 
International [EN] 
Deutschland [DE] 
France [FR] 
United Kingdom [EN] 
Česká republika [CZ] 
Slovenská republika [SK] 
Россия [RU] 
America [EN] 
China [CN] 
Industriestrasse 24
CH-9300 Wittenbach
