Hochauflösend und extrem schnell: die neuen capaNCDT Systeme
14.05.2007
Drei neue Controller für kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon ermöglichen ein noch breiteres Anwendungsfeld. Die Serien capaNCDT 6300 / 6310 und 6350 lösen damit die langjährige und bekannte Einkanal-Lösung capaNCDT 620 ab.
Die beiden Systeme capaNCDT 6300 und capaNCDT 6310 identifizieren sich mit dem Begriff „hochauflösend“. Sie erreichen bei einer Grenzfrequenz von 8 kHz eine Auflösung von bis zu zwei Nanometern. Diese hohe Präzision wird durch den Einsatz analoger Technik erreicht.
Die beiden Controller unterscheiden sich durch den möglichen Abstand zwischen Sensor und Controller. Ist beim capaNCDT 6300 nur 1m möglich, so werden durch einen externen Vorverstärker beim capaNCDT 6310 bis zu 11 m erreicht. Diese Serie ist speziell für Anwendungen konzipiert, bei denen eine große Distanz zwischen Sensor und Controller gefordert wird.
Diese kapazitiven Systeme werden dort eingesetzt, wo unglaubliche Präzision gefordert wird. Beispielsweise bei der Ausrichtung von Belichtungsoptiken in der Waferproduktion oder bei der Schwingungsmessung von Dental-Bohrern.
Das Messystem capaNCDT 6350 hat seine Stärken in der Schnelligkeit. Die Grenzfrequenz von 50 kHz erlaubt Messungen von schnellsten Bewegungen. So wird mit diesem Messaufbau die Bewegung der Elektroden beim Ultraschallschweißen gemessen. Für eine höhere Präzision lässt sich der Controller auf besondere Messobjekte linearisieren. Um diese enorme Schnelligkeit zu erreichen, arbeitet der capaNCDT 6350 mit einem digitalen Signalprozessor.