Positionsmessung bei 4 Kelvin Umgebungstemperatur

In Nano-Positioniereinheiten von attocube systems AG werden kapazitive Flachsensoren der Serie capaNCDT 6300 eingesetzt. Die Positioniereinheiten werden bei 4 Kelvin Umgebungstemperatur in Raster-Kraft-Mikroskopen verwendet, um die Probenstücke zu bewegen. Starke elektromagnetische Felder, Hochvakuum und 4 Kelvin Umgebungstempertur sind die Bedingungen bei denen die Sensoren Nanometer-Präzision leisten müssen.