Nanopositionierung bei höchsten Ansprüchen

Bei einer Umgebungstemperatur von 4 K messen kapazitive Hybridsensoren die Bewegung einer Probe in Rasterkraftmikroskopen. Dabei wird eine Oberflächentopographie mit Nanometerauflösung erzeugt. Zwei Sensoren der capaNCDT CSH-FL Baurreihe erfassen die Positionierung in x- und y-Richtung. Die Probe wird dafür mit flüssigem Helium auf 4 K gekühlt. Sowohl bei Zimmertemperatur, als auch bei starken elektromagnetischen Feldern, einem Ultrahochvakuum und nahe dem absoluten Nullpunkt erreichen die Sensoren eine Auflösung im Nanometerbereich. Die besonderen Werkstoffe, die bei den Hybridsensoren zum Einsatz kommen, ermöglichen es, diese extremen Anforderungen zu meistern.