Silizium Bricks optisch vermessen

Mit der neuen Anlage werden die Silizium-Rohlinge, die sogenannten Bricks, auf Seitenlängen, Phasenlängen, Winkel und Diagonallängen geprüft. Besonders eine Bananenform der Bricks führte häufig zu Problemen bei der manuellen Prüfung. Werden abweichende Bereiche im nächsten Schritt in Wafer gesägt, können sie sich vom Träger lösen und die Säge dadurch zu einer längeren Stillstandszeit zwingen.

Für die automatische Prüfung verwendet Micro-Epsilon die Laser-Scanner scanCONTROL 2800. Vier gegenüberliegend angeordnete Sensoren erfassen die gesamte Oberfläche. Je nach Bearbeitungszustand des Brick wechselt die Oberfläche zwischen spiegelnd und matt. Im Normalfall regelt sich die Belichtungszeit am Sensor abhängig vom Reflexionsgrad der Oberfläche automatisch je Profil. Ändert sich aber die Oberfläche innerhalb einer Laserlinie, sind viele herkömmliche Scanner überfordert. Durch das große Know-How und die Erfahrung der Micro-Epsilon- Ingenieure wurde eine hochpräzise Lösung realisiert.