Dicke per Kapazität gemessen

Neben der normalen Abstandsmessung ist die Dicke eine der häufigsten Aufgaben von Wegsensoren. Üblicherweise werden dabei zwei Sensoren im Differenzverfahren betrieben, woraus die Dicke eines Messobjekts berechnet werden kann. Diese Funktion bietet das capaNCDT 6500 Mehrkanal System bereits in der Serienausführung. Über die integrierten Verrechnungsfunktionen kann die Dickenmessung direkt im Controller programmiert werden, so dass im Anschluss kein PC für Berechnungen  notwendig ist.

Kapazitive Sensoren werden zur Dickenmessung immer dann eingesetzt, wenn das Objekt bspw. stark spiegelt oder Speckles mit optischen Sensoren auftreten. Durch die Mittelung über die Sensorfläche kann auch sehr gut gegen etwas rauere Oberflächen gemessen werden. Das Messobjekt muss ein metallischer Leiter oder Halbleiter sein. Mit dem capaNCDT 6500 kann eine Dickenmessung an 4 Stellen eingerichtet werden, da der Controller mit bis zu 8 Kanälen belegt werden kann. Verwendet wird die kapazitive Dickenmessung bspw. in der Inspektion von Solar-Wafern.

Auch zur Spaltmessung wird das System verwendet. Die Anwendung funktioniert in umgekehrter Weise zur Dickenmessung. Dazu werden zwei Sensoren "Rücken an Rücken" in den Spalt geführt. Die Addition beider Signale mit dem zugrunden liegenden Offset ergibt die Spaltbreite. Für Dicke und Spalt wurden besondere Konstruktionen für den Einbau der Sensoren entwickelt, die in konstantem Abstand zum Messobjekt bleiben.