Einzigartig in UHV messen

Sensoren, die für Messungen im Ultra-Hochvakuum (UHV) eingesetzt werden, sind meist sehr hohen Sauberkeits- und Ausgasungsanforderungen gegenübergestellt. Sind präzise Messungen in diesem Umfeld durchzuführen, werden gerne kapazitive Sensoren verwendet. Die neuen ECT-Sensoren sind prädestiniert für sehr kritische Anforderungen in dieser Umgebung und sind jetzt auch in spezieller UHV-tauglicher Ausführung erhältlich.

Um die Sensorsignale aus dem Vakuum zu führen, sind spezielle Vakuumdurchführungen nötig. Häufig basieren diese auf BNC-Lösungen mit koaxialem Kabel. Kapazitive Sensoren der Serie capaNCDT arbeiten mit speziell geschirmten triaxialen Kabeln, die höchste Anforderungen an Schirmung und Stabilität erfüllen. Für den Einsatz im UHV wurden besondere Vakuumdurchführungen entwickelt, die einzigartig am Markt sind. Die Durchführungen sind äußerst kompakt, robust gebaut und können als Einzige Signale per Triax-Kabel aus oder in evakuierte Umgebung mit dieser Dichtigkeit und Signalqualität führen. Die Durchführungen sind zur Selbstmontage oder mit CF16-Flansch erhältlich.

Für die restliche Messkette außerhalb des Vakuums können alle Micro-Epsilon Standard-Komponenten verwendet werden.