Select country / language

Mehr Präzision

Kapazitive Sensoren - Modellübersicht

Kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon sind in unterschiedlichen Bauformen und Ausführungen erhältlich. Sie unterscheiden sich im Messbereich, der Bauform und der Fertigungstechnologie. Die kapazitiven Sensoren sind in zylindrischer Ausführung (mit integriertem Kabel oder Buchse) oder als Flachsensor (mit integriertem Kabel) verfügbar. Die Wegsensoren sind ohne Neukalibrierung austauschbar, damit ist der Sensorwechsel in kurzer Zeit erledigt. Der Großteil der Sensoren kann im Reinraum eingesetzt werden, die Verwendung im UHV ist ebenfalls möglich.

Klicken Sie auf die jeweilige Rubrik, um weitere Informationen über die kapazitiven Sensoren zu erhalten.

Zylindrische Sensoren mit Buchse

Modell	Messbereich	Min. ø Target	Abmessung
CS005	0,05 mm	3 mm	Ø6 × 12 mm
CS02	0,2 mm	5 mm	Ø6 × 12 mm
CS05	0,5 mm	7 mm	Ø8 × 12 mm
CS08	0,8 mm	9 mm	Ø10 × 15 mm
CS1	1 mm	9 mm	Ø10 × 21 mm
CS1HP	1 mm	9 mm	Ø10 × 20 mm
CS2	2 mm	17 mm	Ø20 × 24 mm
CS3	3 mm	27 mm	Ø30 × 24 mm
CS5	5 mm	37 mm	Ø40 × 24 mm
CS10	10 mm	57 mm	Ø60 × 24 mm

CS005 nicht geeignet für Controller capaNCDT 6019 und capaNCDT 6100.

Details

Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.

CS005

Gewicht:	2 g
Auflösung:	±0,0375 nm *
Linearität:	±0,2 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	11 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS02

Gewicht:	2 g
Auflösung:	±0,15 nm *
Linearität:	±0,2 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	11 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS05

Gewicht:	4 g
Auflösung:	±0,375 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	11 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS08

Gewicht:	7 g
Auflösung:	±0,6 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	11 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS1

Gewicht:	8 g
Auflösung:	±0,75 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	30 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS1HP

Gewicht:	8 g
Auflösung:	±0,75 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	11 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS2

Gewicht:	50 g
Auflösung:	±1,5 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	30 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS3

Gewicht:	70 g
Auflösung:	±2,25 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	30 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS5

Gewicht:	95 g
Auflösung:	±3,75 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	30 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

CS10

Gewicht:	180 g
Auflösung:	±7,5 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	30 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C

* abhängig vom Controller

Zylindrische Sensoren mit integriertem Kabel

Modell	Messbereich	Min. ø Target	Abmessung
CSH02-CAm1,4	0,2 mm	7 mm	Ø8 × 14 mm
CSH05-CAm1,4	0,5 mm	7 mm	Ø8 × 14 mm
CSH1-CAm1,4	1 mm	11 mm	Ø12 × 14 mm
CSH1,2-CAm1,4	1,2 mm	11 mm	Ø12 × 14 mm

Sensoren mit integriertem Kabel nicht geeignet für Controller capaNCDT 6019.

Details

Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.

CSH02-CAm1,4

Gewicht:	30 g
Auflösung:	±0,15 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH05-CAm1,4

Gewicht:	30 g
Auflösung:	±0,38 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH1-CAm1,4

Gewicht:	33 g
Auflösung:	±0,75 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH1,2-CAm1,4

Gewicht:	33 g
Auflösung:	±0,9 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

Flachsensoren mit integriertem Kabel

Modell	Messbereich	Min. ø Target	Abmessung
CSH02FL-CRm1,4	0,2 mm	7 mm	10,5 × 8 × 4 mm
CSH05FL-CRm1,4	0,5 mm	7 mm	10,5 × 8 × 4 mm
CSH1FL-CRm1,4	1 mm	11 mm	17 × 12 × 4 mm
CSH1,2FL-CRm1,4	1,2 mm	11 mm	17 × 12 × 4 mm

Sensoren mit integriertem Kabel nicht geeignet für Controller capaNCDT 6019.

Details

Bitte bewegen Sie die Maus über die Tabelle, um genauere Informationen anzuzeigen.

CSH02FL-CRm1,4

Gewicht:	28 g
Auflösung:	±0,15 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH05FL-CRm1,4

Gewicht:	28 g
Auflösung:	±0,38 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH1FL-CRm1,4

Gewicht:	30 g
Auflösung:	±0,75 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m

* abhängig vom Controller

CSH1,2FL-CRm1,4

Gewicht:	30 g
Auflösung:	±0,9 nm *
Linearität:	±0,05 % d.M. *
Temperaturstabilität Empfindlichkeit:	-12 ppm/°C
Max. Betriebstemperatur:	+200 °C
Kabellänge:	1,4 m