Halbleiter & Wafer

Zur Erfassung der Ebenheit bzw. Planarität von 150 mm Wafern werden reflectCONTROL Deflektometrie-Systeme eingesetzt. Diese erfassen die Ebenheit mit nur einer Aufnahme. Dazu projizieren die Sensoren auf den Wafer ein Streifenmuster, das von den…

Für die exakte Dickenmessung von Wafern werden kapazitive Wegsensoren eingesetzt. Zwei gegenüberliegende Sensoren erfassen die Dicke und bestimmen darüber hinaus weitere Parameter wie die Durchbiegung. Dabei kann die Lage des Wafers im Messspalt…

Um die Geometrie von Silizium-Ingots zu prüfen, werden Laser-Profilscanner von Micro-Epsilon eingesetzt. Diese erfassen die komplette Geometrie der Siliziumstäbe. Dadurch können geometrische Abweichungen des Siliziumnblocks vor dem Vereinzeln…

Konfokal-chromatische Sensoren scannen die Oberfläche von Wafern und erfassen so die Durchbiegung und Verzug von Wafern. Mit einer hohen Messrate ermöglichen die confocalDT Controller hochdynamische Messungen. Dadurch können die Wafer in kurzen…

Zur automatischen Erkennung und Vermessung von Sägeriefen werden konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon eingesetzt. Die schnelle Oberflächenkompensation im Controller regelt die Belichtungszyklen, um eine maximale Signalstabilität bei…

Konfokal-chromatische Wegsensoren von Micro-Epsilon werden zur Prüfung von Bumps eingesetzt. Die Sensoren erzeugen einen kleinen Lichtpunkt auf dem Wafer und können dank der hohen Auflösung kleinste Teile und Strukturen zuverlässig erfassen.…

Beim Handling von Wafern ist die exakte und reproduzierbare Positionierung entscheidend. Beim Zuführen von Wafern prüfen zwei optoCONTROL Laser-Mikrometer den Durchmesser und ermitteln so die horizontale Lage. Dank der hohen Messrate und der…

Im Lithografieprozess ist eine hochauflösende und langzeitstabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Präzision zu erzielen. Dank der hohen Auflösung ermöglichen kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon die nanometergenaue…

Im Lithografieprozess ist eine hochauflösende und langzeitstabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Präzision zu erzielen. Dank spezieller Auswertealgorithmen und der aktiven Temperaturkompensation ermöglicht das…

Konfokal-chromatische Sensoren werden zur einseitigen Dickenmessung von Beschichtungen eingesetzt. Das Messprinzip ermöglicht die Auswertung mehrerer Signal-Peaks, wodurch die Dicke von transparenten Materialien bestimmt werden kann. Dank der…

Um qualitativ hochwertige Halbleiterchips herzustellen, bedarf es präziser Ausrichtungs- und Positionierungstechniken bei der Produktion von Glaswafern. Ein entscheidender Schritt hierbei ist die Notch-Erkennung, bei der die Positionen der…

Die kapazitiven Wegsensoren werden zur Feinpositionierung in der Waferstage eingesetzt. Die Sensoren messen an verschiedenen Stellen die Position der Stage, was insbesondere zur Feinausrichtung genutzt werden kann. Dank triaxialem Aufbau sind die…

Berührungslose induktive Wegsensoren (Wirbelstrom) messen die Position von Linsenelementen, um größtmögliche Abbildungsgenauigkeit herzustellen. Je nach Systemaufbau werden die Wegsensoren zur Erfassung von bis zu 6 Freiheitsgraden eingesetzt.…

Zur Belichtung einzelner Bauelemente auf dem Wafer werden diese über Waferstages an die jeweilige Position bewegt. Um die nanometergenaue Positionierung zu ermöglichen, messen kapazitive Wegsensoren sowie Wirbelstromsensoren die Position des…

Berührungslose Sensoren von Micro-Epsilon werden zur Positionsüberwachung der Waferstage eingesetzt. Dort messen sie die hochdynamischen XYZ-Bewegungen der Stage mit extrem hohen Beschleunigungen. Die kapazitiven und induktiven (Wirbelstrom)…

Die Weißlicht-Interferometer der Serie interferoMETER IMS5600 von Micro-Epsilon werden zur Positionsüberwachung der Waferstage eingesetzt. Dort messen sie die XYZ-Bewegungen der Stage mit extrem hohen Beschleunigungen. Die hochpräzisen optischen…

Kapazitive Wegsensoren messen die Verkippung von Linsenträgern mit Nanometergenauigkeit. Dank der hochpräzisen Messung wird eine reproduzierbare Projektion sichergestellt. Mehrere Sensoren messen dabei auf den metallischen Träger. Dank der…

Konfokal-chromatische Sensoren werden eingesetzt, um die Ausrichtung der Optik zu messen. Mehrere Sensoren messen dabei direkt auf die Optik, um die Verkippung nanometergenau zu erfassen. Anders als elektromagnetische Sensoren sind…

Ingots werden oftmals mit Orientierungskerben versehen, die für die Ausrichtung der Ingots erforderlich sind. Um das Profil der Kerben auf Maßhaltigkeit zu prüfen, werden Blue-Laserscanner von Micro-Epsilon eingesetzt. Diese erfassen das…

Konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon werden eingesetzt, um Risse und andere Fehlstellen auf dem Wafer zu erkennen. Dank der schnellen Oberflächenkompensation im Controller können Oberflächen mit unterschiedlichen…

Innenlochsägen werden zum Trennen von Siliziumingots eingesetzt. Um eine zuverlässige Trennung des Ingots zu erreichen, wird das Sägeblatt bzw. die Halterung mit Wirbelstromsensoren überwacht. Vier Sensoren messen berührungslos den Abstand auf…

Drahtsägen werden eingesetzt, um Ingots in einem Schritt zu schneiden. Da der Draht hohem Verschleiß unterliegt, wird das Drahtbett an mehreren Stellen mit berührungslosen Wirbelstromsensoren überwacht. Diese erfassen zum einen die Drahthöhe auf…

Shack-Hartmann Wellenfrontsensoren von Optocraft messen den Justage-Zustand und die Abbildungsqualität des gesamten optischen Systems. Das robuste Messprinzip erlaubt die Maschinen-Integration und automatisierte Messabläufe, sowie eine…

Die exakte Lage des Wafers spielt eine wichtige Rolle beim Waferhandling. Beim Zuführen von Wafern werden Weißlicht-Interferometer eingesetzt, um die horizontale Verkippung von Wafern zu messen. Dabei messen zwei Interferometer auf den Wafer. Die…

Konfokal-chromatische Sensoren messen von beiden Seiten die Dickenabweichung bzw. die Waferdicke. Über das Dickenprofil des gesamten Wafers kann auch die Verwölbung und Verbiegung des Wafers ermittelt werden. Dank der hohen Messrate kann die…