interferoMETER IMS5400-DS
Absolute Abstandsmessungen mit maximaler Präzision
Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit
Das neue Weißlicht-Interferometer IMS5400-DS eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Abstandsmessung. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Nanometer-Genauigkeit bei verhältnismäßig großem Grundabstand. Im Vergleich zu anderen absolut messenden optischen Systemen bietet das IMS5400-DS damit eine unübertroffene Kombination aus Genauigkeit, Messbereich und Grundabstand.
Besonderheiten
- Absolute Abstandsmessung mit Nanometerpräzision, geeignet zur Messung von z.B. Stufenprofilen
- Multipeak-Abstandsmessung von transparenten Objekten
- Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand
- Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen
- Robuster Controller mit passiver Kühlung
- Einfache Konfiguration über Webinterface
Absolute Abstandsmessung mit Nanometerauflösung
Das IMS5400-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Anders als herkömmliche Interferometer ermöglicht das IMS5400-DS auch die stabile Messung von Stufenprofilen. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität und Präzision. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden.
Multipeak-Abstandsmessung
Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber hinaus kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.
Ideal für industrielle Umgebungen
Robuste Sensoren und ein Controller im Metallgehäuse prädestinieren das System zur Integration in Fertigungslinien. Der Controller lässt sich per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und können auch in beengte Bauräumen integriert werden. Die hochflexiblen Lichtleiter-Kabel sind mit einer Länge bis 10 m verfügbar und erlauben eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.
Kleiner Lichtfleck zur Messung kleinster Details und Strukturen
Die Sensoren erzeugen einen kleinen Lichtfleck über den gesamten Messbereich. Der Lichtfleckdurchmesser beträgt nur 10 µm und ermöglicht die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen.
Messung auf zahlreiche Oberflächen
Das interferometrische Messverfahren ermöglicht die Messung auf zahlreichen Oberflächen. Damit können hochpräzise Abstandsmessungen auf spiegelnden Metallen, Kunststoffen und Gläsern erfolgen.
Zahlreiche Modelle für anspruchsvolle Messaufgaben
| Modell | Messbereich / Messbereichsanfang | Linearität | Anzahl messbarer Schichten | Einsatzbereiche |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±50 nm | - | Industrielle Abstandsmessungen z.B. in der Präzisionsfertigung |
| IMS5400-DS19/VAC | Präzise Positionieraufgaben und Abstandsmessungen in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Maskenpositionierung | |||
| IMS5400MP-DS19 | Abstandmessung: 2,1 mm / ca. 19 mm Dickenmessung: 0,01 … 1,3 mm (bei BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±50 nm für den ersten Abstand ±150 nm für jeden weiteren Abstand |
Bis zu 13 Schichten | Industrielle Abstands- und Dickenmessung z.B. in der Flachglasproduktion |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Präzise Abstands- und Dickenmessung in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Abstands- und Spaltmessung |
Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten
Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen
Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule stehen PROFINET und EthernetIP zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden.
