Hochauflösend und kompakt
Die neue Generation konfokaler Sensoren
confocalDT
Das größte Sensor-Portfolio weltweit für präzise Messaufgaben
confocalDT
Hochpräzise Weg- und Abstandsmessung auf allen Oberflächen
confocalDT
Weltweit bewährt in zahlreichen Einsatzbereichen: Industrie, Robotik und Halbleiter/Vakuum
confocalDT
Führend in der konfokalen Messtechnik
confocalDT
Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
Konfokal-chromatische Sensoren
Die confocalDT Sensorreihe steht für höchste Präzision und Dynamik in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Die Sensoren ermöglichen hochpräzise und schnelle Messungen sowohl bei Abstandsmessungen als auch bei der Dickenmessung von transparenten Objekten. Dank der innovativen Controller- und Sensor-Technologien wird eine hohe Signalstabilität auf allen Oberflächen sichergestellt. Das leistungsstarke Sensorportfolio ermöglicht die Lösung vielfältiger Messaufgaben, z.B.in der Flachglasproduktion, in Messmaschinen und im Halbleitermaschinenbau.
Modellübersicht
Besonderheiten
- Abstands- und Dickenmessung mit enormer Auflösung und Messrate
- Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
- Nahezu oberflächenunabhängig, auch für Spiegel und Glas
- Extrem kleiner konstanter Messfleck zur Erfassung kleinster Details
- Nanometergenaue Auflösung
- Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis
- Passives Messsystem, ideal für Applikationen im Vakuum
Höchste Präzision in der konfokal-chromatischen Weg- und Dickenmessung
Die confocalDT Sensorreihe steht für höchste Präzision und Dynamik in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Die Sensoren werden zur Lösung vielfältiger Messaufgaben genutzt.
Größtes Sensor-Portfolio für präzise Messungen
Für jede Messaufgabe der richtige Sensor: ob für beengte Bauräume, für Messungen auf gekrümmten Oberflächen oder für den nanometergenaue Messungen in der Halbleiterindustrie: die confocalDT Sensoren sind in unterschiedlichen Serien verfügbar, die in zahlreichen Applikationen überzeugen.
Die neue Sensorgeneration
Der confocalDT IFD2415 und IFD2410 sind leistungsfähige konfokale Sensoren mit integriertem Controller. Das platzsparende IP65 Gehäuse erlaubt eine schnelle Integration, da kein Lichtwellenleiter benötigt wird. Die Sensoren sind bestens für hochpräzise Abstands- und Dickenmessungen geeignet. Mit dem IFD2415 können zudem Mehrschicht-Dickenmessungen von bis zu 5 Schichten durchgeführt werden. Die aktive Belichtungszeitregelung erlaubt eine stabile Messung auf variierenden Oberflächen, auch bei dynamischen Prozessen von bis zu 25 kHz.
Hochauflösend und schnell: Abstandsmessung und Dickenmessung mit mehr Präzision
Die confocalDT Sensoren liefern ein exzellentes Signal-Rausch-Verhältnis und ermöglichen schnelle Messungen mit höchster Präzision. Dank der schnellen Oberflächenkompensation wird eine außerordentliche Signalstabilität bei variierenden Oberflächen erzielt.
Kleinster Lichtpunkt: Messung kleinster Details und Strukturen
Die konfokalen Sensoren von Micro-Epsilon erzeugen dank der hohen Numerischen Apertur (NA) kleinste Lichtpunkte <3 µm. Dadurch werden kleinste Details und Strukturen zuverlässig erfasst.
Großer Verkippungswinkel
Die confocalDT IFS Sensoren bieten einen großen Verkippungswinkel bis zu 48°. Dadurch werden gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen zuverlässig erfasst und stabile Signale erzeugt.
Einsatz im Vakuum
Die confocalDT Sensoren sind mit passiven Komponenten aufgebaut und geben keine Wärmeabstrahlung an die Umgebung ab. Speziell für den Einsatz im Vakuum bietet Micro-Epsilon Sensoren, Kabel und Zubehörteile, die für die jeweilige Spezifikation (Reinraum, Vakuum, Ultrahochvakuum UHV) geeignet sind. Verfügbar sind vakuumtaugliche Sensoren mit verschiedenen Messbereichen, sowohl mit axialem als auch mit radialem Strahlengang.
Robuste Lichtwellenleiter für Industrie, Robotik und Vakuum
Leistungsstark auf allen Oberflächen
Einfache Bedienung über Webinterface
Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen, worüber alle Einstellungen vorgenommen werden. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann.
Einfache Integration dank zahlreicher Schnittstellen
Ideal für präzise Messungen in industriellen Applikationen
Video: konfokal-chromatische Sensoren zur Abstands- und Dickenmessung
Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten
Anwendungsbereiche
