Positionierung des Linsensystems in Lithografiemaschinen

Berührungslose induktive Wegsensoren (Wirbelstrom) messen die Position von Linsenelementen, um größtmögliche Abbildungsgenauigkeit herzustellen. Je nach Systemaufbau werden die Wegsensoren zur Erfassung von bis zu 6 Freiheitsgraden eingesetzt. Dank der hohen Grenzfrequenz der eddyNCDT Sensoren können auch hochdynamische Bewegungen der Linsensysteme überwacht werden.

MICRO-EPSILON (SWISS) AG
Industriestrasse 24
CH-9300 Wittenbach
info@micro-epsilon.ch
+41 71 250 08 38
+41 71 250 08 69