Positionierung der Waferstage mit Weißlichtinterferometern

Die Weißlicht-Interferometer der Serie interferoMETER IMS5600 von Micro-Epsilon werden zur Positionsüberwachung der Waferstage eingesetzt. Dort messen sie die XYZ-Bewegungen der Stage mit extrem hohen Beschleunigungen. Die hochpräzisen optischen Messsysteme erreichen eine Auflösung im Nanometerbereich und sorgen dafür, dass der Wafer für die Belichtung nanometergenau positioniert wird. Dank vakuumtauglicher Messköpfe können die Messsysteme im Vakuum eingesetzt werden und sind unempfindlich gegenüber starken Magnetfeldern.