Konfokale Sensoren zur Messung von Abstand und Dicke für spezielle Anforderungen

Konfokale Sensoren der Serie IFS2406 zeichnen sich durch eine hohe Genauigkeit bei kompakter Bauform aus. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung von transparenten Folien, Platten oder Schichten einsetzbar. Die IFS2406-2,5 Modelle sind darüber hinaus für den Einsatz im Vakuum geeignet und durch die axiale und radiale Messrichtung besonders vielseitig in der Anwendung.

confocalDT IFS2406

• Messbereiche (mm): 2,5 | 3 | 10
• Linearität max. 0,75 µm
• Auflösung max. 0,024 µm
• Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet
• Kleiner Lichtfleck
• Vakuumtaugliche Sensorkonstruktion

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confocalDT IFS2406-3/VAC(001)

• Messbereiche (mm): 3
• Linearität max. 1,5 µm
• Auflösung max. 0,05 µm
• Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet
• Kleiner Lichtfleck
• Vakuumtaugliche Sensorkonstruktion