Überprüfung auf Risse und Abbrüche

Konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon werden eingesetzt, um Risse und andere Fehlstellen auf dem Wafer zu erkennen. Dank der schnellen Oberflächenkompensation im Controller können Oberflächen mit unterschiedlichen Reflexionseigenschaften zuverlässig überprüft werden. Durch den extrem kleinen Lichtfleck und die hohe Auflösung werden kleinste Unregelmäßigkeiten auf dem Wafer sicher erkannt.