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Konfokale Hochtemperatur-Sensoren IFS2407


Next Generation: Hochtemperatursensoren für den Einsatz bis 200° C

Vakuumtauglich bis UHV

Ideal für Präzisionsmaschinenbau und Halbleiterindustrie

Konfokale Hochtemperatur-Sensoren für Umgebungen bis 200 °C

Die neuen konfokal-chromatischen Hochtemperatur-Sensoren setzen Maßstäbe für Messungen in anspruchsvollen Umgebungen. Erstmals im Micro-Epsilon-Portfolio stehen optische Sensoren zur Verfügung, die Temperaturen um bis zu 200 °C standhalten – und das bei höchster Messgenauigkeit. Dank ihrer kompakten Bauform eignen sich die Sensoren ideal für Anwendungen mit sehr begrenztem Einbauraum. Die innovativen HT-Modelle sind in verschiedenen Messbereichen sowie mit 90°-Strahlengang erhältlich und passen sich flexibel an unterschiedliche Einbausituationen an. Dank minimaler Ausgasung sind die Sensoren für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) geeignet – perfekt für Messaufgaben im Präzisionsmaschinenbau und in der Halbleiterindustrie.

confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC

  • Messbereich (mm): 0,8 
  • Linearität: max. < ±0,18 µm
  • Auflösung: max. < 6 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: Ideal für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Einsatz in extremen Umgebungsbedingungen: Zuverlässige Messung bei Temperaturen bis zu 200 °C
  • Gehäuse aus Edelstahl 1.4404

confocalDT IFS2407-2HT/VAC

  • Messbereich (mm): 2
  • Linearität: max. < ±0,44 µm
  • Auflösung: max. < 10 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: Ideal für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Einsatz in extremen Umgebungsbedingungen: Zuverlässige Messung bei Temperaturen bis zu 200 °C
  • Gehäuse aus Edelstahl 1.4404
  • Modelle mit 90°-Strahlengang

confocalDT IFS2407-4HT/VAC

  • Messbereich (mm): 4
  • Linearität: max. < ±0,8 µm
  • Auflösung: max. < 24 nm
  • Geringes Ausgasungsverhalten: Ideal für UHV- und Reinraumanwendungen
  • Einsatz in extremen Umgebungsbedingungen: Zuverlässige Messung bei Temperaturen bis zu 200 °C
  • Gehäuse aus Edelstahl 1.4404
  • Modelle mit 90°-Strahlengang
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