In der Halbleiterindustrie, Optik oder Luftfahrt gehören Messungen unter Vakuumbedingungen zum Alltag, gleichzeitig stellen sie höchste Anforderungen an Sensorik. Micro-Epsilon bietet hierfür sowohl Katalogsensoren als auch speziell entwickelte Sensoren, die unter extremen Bedingungen zuverlässig und hochgenau arbeiten. Dank ihrer angepassten Materialien und optimierten Design funktionieren sie entweder direkt im Vakuum oder messen von außen durch Vakuumfenster.
Zum Einsatz kommen je nach Anwendung optische, induktive, kapazitive oder interferometrische Sensoren. So eignen sich Lasersensoren der Serie optoNCDT ideal zur Abstandsmessung in Prozessen wie dem Laserschweißen oder der additiven Fertigung. Für nanometergenaue Dickenmessungen an Wafern oder Displays sind konfokale Sensoren der Reihe confocalDT die erste Wahl. Absolut-Interferometer liefern unter anderem in der Halbleiterfertigung hochpräzise Abstands- und Dickenmessungen. Induktive Sensoren auf Wirbelstrombasis der Reihe induSENSOR, kapazitive Sensoren capaNCDT und magneto-induktive Sensoren mainSENSOR bieten zusätzliche Lösungen für anspruchsvolle Vakuumanwendungen beispielsweise in der Luftfahrtindustrie.
Alle Sensoren werden unter strengsten Vorgaben gefertigt und regelmäßig kontrolliert (z.B. TENAX-Beprobung). Dank kompakter Bauformen, integrierter Controller und intelligenter Schnittstellen lassen sie sich schnell installieren und flexibel in bestehende Systeme integrieren. Micro-Epsilon bietet für jede Vakuumanwendung die passende Messtechnik: individuell abgestimmt und sofort einsatzbereit. Weitere Infos und Hinweise finden Sie in unserem aktuellen Branchenprospekt.