Positionierung der Waferstage mit kapazitiven Sensoren

Die kapazitiven Wegsensoren werden zur Feinpositionierung in der Waferstage eingesetzt. Die Sensoren messen an verschiedenen Stellen die Position der Stage, was insbesondere zur Feinausrichtung genutzt werden kann. Dank triaxialem Aufbau sind die Sensoren unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Feldern und erreichen eine Auflösung im Nanometerbereich. Darüber hinaus erzielen die Sensoren eine extrem hohe Langzeitstabilität. Die berührungslosen Sensoren sind für den Vakuumbereich ausgelegt und können auch im UHV Bereich eingesetzt werden.