Hochpräzise Sensorlösungen für die Halbleiterindustrie
Produktionsanlagen in der Halbleiterindustrie müssen mit modernsten Sensoren ausgestattet sein, um die steigenden Anforderungen an Qualität und Wirtschaftlichkeit erfüllen. Dabei müssen kleinste Bewegungen exakt erfasst, minimale Toleranzüberschreitungen zuverlässig erkannt und Prozesse überwacht werden, die an der Grenze des physikalisch Machbaren sind. Sensortechnologien von Micro-Epsilon haben sich in der Halbleiterindustrie seit vielen Jahren bestens bewährt und bieten dort für zahlreiche Messaufgaben stets die passende Lösung: ob für komplexe Front-End-Prozesse, Back-End-Applikationen oder Wafer-Fab-Automatisierungen.
Warum Micro-Epsilon?
- Mehr Präzision und Innovation - Made in Germany
- Beratung, Entwicklung & Produktion aus einer Hand
- Gemeinsam mit unseren Kunden: Qualität und Lösungskompetenz in Serie & OEM
- Tiefes Technologie- und Applikationswissen in der Halbleiterproduktion
Präzisionssensorik für die dynamische Maschinenüberwachung und -regelung
Optimierte Sensoren von Micro-Epsilon kommen im Halbleitermaschinenbau für präzise Messungen zum Einsatz. Sie werden in Anwendungen mit hohen Beschleunigungen, starken Magnetfeldern und im Ultrahochvakuum eingesetzt. Die Sensoren unterliegen höchsten Qualitätsanforderungen und überwachen unter anderem die Ausrichtung von Fotomasken und Linsensystemen, die Positionierung beim Waferhandling und die korrekte Position von Spiegeln und Optikelementen.
Unsere Sensorik-Lösungen für die Halbleiterindustrie
Wir bieten Ihnen ein umfangreiches Portfolio an präzisen Sensoren und Messgeräten für verschiedenste Prozessschritte in der Halbleiterfertigung. Für Serienanwendungen entwickeln und produzieren wir angepasste Sensor- und Aktorlösungen. Wir verfügen über die relevanten Fertigungsmethoden und -kapazitäten, damit Sie die Sensoren auch in anspruchsvollen Umgebungen einsetzen können.
Moderne Fertigungsverfahren für hochpräzise Wegsensoren
Aufgrund der hohen Ansprüche in der Halbleiterfertigung durchlaufen alle Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon komplexe Fertigungs- und Prüfprozesse. Dies betrifft u.a. die Auswahl und Platzierung der Elektroniken, die mechanische Fertigung sowie spezielle Prozesstechnologien. Darüber hinaus werden applikationsspezifische Sensormaterialien eingesetzt, um höchste Qualitätsanforderungen zu erfüllen.
- UKP-Lasertechnologie
- Hochtemperatur-Vakuum-Löten
- Präzisionsfertigung
- Burn-In-Tests
- Vollautomatisierte Vergussanlagen
- Passivierung und Beschichtung von Bauelementen und Schaltgruppen
Angepasstes Sensordesign nach individuellen Kundenvorgaben
- Ausgasungsarm
- Vakuumtauglich
- Reinigungsmöglichkeiten
- UHV-konforme Technologien
- Verbindungstechnologien
- Halbleiterkonforme Beschriftung und Verpackung
- Hohe Qualitätssicherungsstandards
Mehr Präzision für Semiconductors
Micro-Epsilon bietet für zahlreiche Anwendungen in der Halbleiterindustrie die richtige Lösung - von der präzisen Maschinenpositionierung über die Waferinspektion bis zur Topografiemessung. Die Sensoren werden sowohl in Front-End-Prozessen als auch im Backend eingesetzt und überzeugen durch höchste Präzision und Zuverlässigkeit.
Applikationsbeispiele aus der Halbleiterindustrie finden Sie hier
