Konfokale Sensorsysteme für Weg, Abstand, Position und Dicke
Konfokal-chromatische Sensoren der Serie confocalDT werden zur schnellen Abstands- und Dickenmessung eingesetzt. Unterschiedliche Sensormodelle und verschiedene Schnittstellen am Controller eröffnen vielfältige Anwendungen, z.B. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und Kunststoffproduktion. Dank der leistungsfähigen Controller und den präzisen Sensoren können kleinste Details und Strukturen auf allen Oberflächen zuverlässig gemessen werden.
- Abstands- und Dickenmessung mit enormer Auflösung und Messrate
- Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
- Nahezu oberflächenunabhängig, auch für Spiegel und Glas
- Extrem kleiner konstanter Messfleck
- Nanometergenaue Auflösung
- Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis
- Passives Messsystem
- Neu: Schnellster Controller weltweit mit integrierter Lichtquelle
Weg- und Abstandsmessung auf nahezu allen Oberflächen mit Submikrometergenauigkeit
Das konfokal-chromatische Messprinzip erlaubt es, Wege und Abstände hochpräzise zu messen – sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen. Die leistungsstarken Controller und innovativen Sensoren von Micro-Epsilon ermöglichen hochauflösende Messungen bis in den Nanometerbereich.
Justierbarer Montageadapter zur Sensorausrichtung
Um die maximale Genauigkeit zu erzielen, müssen die konfokalen Sensoren möglichst orthogonal zum Messobjekt ausgerichtet werden. Mit dem justierbaren Montageadapter können alle confocalDT Sensoren optimal zum Messobjekt ausgerichtet werden. Dabei kann die Ausrichtung auch nach der Montage in der Maschine erfolgen. Der industrietaugliche Adapter ermöglicht die Verschiebung in X- und Y- Richtung und die Verkippung des Sensors zum Messobjekt.
Jetzt neu: Justierbarer Montageadapter zur zweiseitigen Dickenmessung
Der JMA-Thickness besteht aus zwei justierbaren Montageadaptern und unterstützt die Ausrichtung der Sensoren bei einer zweiseitigen Dickenmessung. Somit können die Messpunkte absolut deckungsgleich in einer optischen Achse angeordnet werden. Durch diese Anordnung wird eine zuverlässige Dickenmessung mit größtmöglicher Präzision sichergestellt. Der JMA-Thickness ist ideal für die Integration in Maschinen und Produktionsanlagen geeignet. Die vormontierten Montageplatten erlauben eine einfache und schnelle Installation.
Dickenmessung von transparenten Materialien: bis zu 5 Schichten mit nur einem Sensor
Das konfokal-chromatische Messprinzip ermöglicht die Dickenmessung von transparenten Materialien wie Glas. Dabei wird mit nur einem Sensor die Dicke mikrometergenau erfasst. Im Controller ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die individuell editierbar und erweiterbar ist. Materialspezifische Parameter wie z.B. Brechungsindizes können über das Webinterface einfach angepasst werden. Bis zu 6 Peaks können ausgewertet werden (Multi-Peak-Messung). Dadurch lassen sich auch mehrschichtige Objekte wie z.B. Verbundglas vermessen.
Einsatz im Vakuum
Die confocalDT Sensoren sind mit passiven Komponenten aufgebaut und geben keine Wärmeabstrahlung an die Umgebung ab. Speziell für den Einsatz im Vakuum bietet Micro-Epsilon Sensoren, Kabel und Zubehörteile, die für die jeweilige Spezifikation (Reinraum, Vakuum, Ultrahochvakuum UHV) geeignet sind. Aktuell verfügbar sind vakuumtaugliche Sensoren mit den Messbereichen 2,5, 3, 10 und 28 mm. Der Sensor IFS2406-2,5 ist sowohl mit axialem als auch mit radialem Strahlengang verfügbar.
Schnellste Messrate für dynamische Messaufgaben
Die confocalDT IFC2471HS Controller bieten mit 70 kHz die höchste Messrate weltweit und werden oftmals für dynamische Überwachungsaufgaben eingesetzt. Um die Belichtung an die jeweilige Oberfläche anzupassen, wird die CCD Zeile dynamisch geregelt. Diese Regelung kompensiert Reflektivitätsänderungen des Messobjekts wesentlich schneller als die herkömmliche Lichtquellenregelung. Dadurch liefern die confocalDT Controller eine enorme Messgenauigkeit bei hohen Messraten und wechselnden Oberflächenfarben.
Kleinster Lichtpunkt weltweit: Messung kleinster Details und Strukturen
Die konfokalen Sensoren von Micro-Epsilon erzeugen dank der hohen Numerischen Apertur (NA) kleinste Lichtpunkte <3 µm. Dadurch werden kleinster Details und Strukturen zuverlässig erfasst.
Großer Verkippungswinkel
Die confocalDT IFS Sensoren bieten einen großen Verkippungswinkel bis zu 48°. Dadurch werden gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen zuverlässig erfasst und stabile Signale erzeugt.
Hochauflösende Controller für Abstandsmessung und Dickenmessung
Die confocalDT Controller liefern ein exzellentes Signal-Rausch-Verhältnis und ermöglichen Messungen mit höchster Präzision. Die schnelle Oberflächenkompensation sorgt für die Regelung der Belichtungszyklen, um eine hohe Signalstabilität zu erreichen. Dies zeigt sich besonders auf Oberflächen mit variierenden Reflexionseigenschaften. Als Schnittstellen stehen EtherCAT, Ethernet, RS422 und Analog Out zur Verfügung.
Einfache Bedienung über Webinterface
Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen, worüber alle Einstellungen vorgenommen werden. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann.
Einfache Integration dank zahlreicher Schnittstellen
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