Montagebügel mit kapazitiven Sensoren für hochgenaue Dickenmessungen

21.12.2022

Der neue Montagebügel mit kapazitiven Sensoren ermöglicht hochgenaue Messungen bei zweiseitigen Dickenmessungen. Durch die gegenüberliegende Montage der Sensoren werden diese exakt in einer Achse zueinander ausgerichtet. Dies sorgt für höchste Präzision, die unter anderem bei Anwendungen in der Batterie- und Halbleiterindustrie gefordert ist.

Bei zweiseitigen Dickenmessungen werden kapazitive Sensoren gegenüberliegend montiert. Eine exakte Ausrichtung in einer Achse ist erforderlich, um hochpräzise Dickenmessungen sicherzustellen. Um die Befestigung der Sensoren sicherzustellen, hat Micro-Epsilon einen Montagebügel konzipiert, der die Sensoren exakt zueinander ausrichtet. Dadurch liegen die Sensoren deckungsgleich auf einer Achse. Der Einbau erfolgt platzsparend, da der Montagebügel sehr kompakt gebaut ist.

An einem Montagebügel können bis zu sechs Sensoren angebracht werden. Da je zwei Sensoren eine Messstelle abbilden, können Dickenmessungen  an drei Spuren gleichzeitig durchgeführt werden. Der Montagebügel kann auch in anspruchsvollen Umgebungen eingesetzt werden. Er ist sowohl vakuumtauglich als auch temperaturstabil bei Temperaturen bis 100 °C. Daher wird der kapazitive Montagebügel auch in Hochpräzisionsanwendungen wie der Halbleiterindustrie zur hochauflösenden Dickenmessung von Wafern und der Batterie-Industrie zur zweiseitigen Dickenmessung von Batterie- sowie Separatorfolien eingesetzt.

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