Mit der interferoMETER Serie bietet Micro-Epsilon innovative Weißlichtinterferometer für die industrielle Abstands- und Dickenmessung mit höchster Genauigkeit. Im Gegensatz zu Laser-Interferometern können damit absolute Abstandsmessungen auch bei Signalsprüngen durchgeführt werden. Dabei werden Auflösungen bis zum Pikometerbereich realisiert. Für leistungsstarke Messungen in besonderen Umgebungen sind drei neue Sensoren verfügbar.
interferoMETER: Leistungsstarke Sensoren für besondere Anforderungen
interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC
- 90° Abstandssensor für kleine Bauräume
- Messbereich 1,5 mm
- Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
- Radialer Strahlenaustritt
- Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV
interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)
- Sensor mit höchster Temperaturstabilität
- Messbereich 2,1 mm
- Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
- Sensormaterial aus Invar
- Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV
interferoMETER IMP-DS1/VAC
- Miniaturisierter Abstandssensor ø4 mm
- Messbereich 1,1 mm
- Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
- Integriertes Kabel für einfache Installation
- Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV