Überwachung der Ausrichtung von Linsen mit konfokal-chromatischen Sensoren

Konfokal-chromatische Sensoren werden eingesetzt, um die Ausrichtung der Optik zu messen. Mehrere Sensoren messen dabei direkt auf die Optik, um die Verkippung nanometergenau zu erfassen. Anders als elektromagnetische Sensoren sind konfokal-chromatische Sensoren in der Lage, auch auf Glasoberflächen zuverlässig zu messen. Dank der hohen Messrate können auch dynamische Bewegungsänderungen der Linse sicher erfasst werden.