Verkippungsmessung von Wafern

Die exakte Lage des Wafers spielt eine wichtige Rolle beim Waferhandling. Beim Zuführen von Wafern werden Weißlicht-Interferometer eingesetzt, um die horizontale Verkippung von Wafern zu messen. Dabei messen zwei Interferometer auf den Wafer. Die Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon liefern absolute Abstandswerte mit einer Subnanometer-Auflösung. Durch die Messung wird eine größtmögliche Lagegenauigkeit bei der Aufnahme und Entnahme von Wafern sichergestellt.