3D-Sensor zur präzisen Inspektion von spiegelnden Oberflächen

19.04.2021

Der reflectCONTROL Sensor erkennt Ebenheitsabweichungen unter 1 µm und wird beispielsweise zur 3D-Formerfassung von Wafern in der Halbleiterproduktion und der Qualitätsprüfung von Flachglas z.B. in der Smartphone-Produktion eingesetzt.

Der kompakte Sensor generiert ein Streifenmuster auf seinem Display, welches über die Oberfläche des Messobjekts in die Kameras des Sensors gespiegelt wird. Abweichungen auf der Oberfläche verursachen Verzerrungen im Streifenmuster, die per Software ausgewertet werden.

Der reflectCONTROL Sensor wird überall dort eingesetzt, wo hochpräzise 3D-Messungen auf spiegelnden und glänzenden Oberflächen durchgeführt werden müssen. Insbesondere bei ebenen Oberflächen überzeugt die reflectCONTROL-Technologie durch hohe Messraten bei Mikrometer-Genauigkeit. 

Warum reflectCONTROL Sensor?

  • Zuverlässige Detektion kleinster Details < 1 µm
  • Inspektionsrate < 2 Sekunden pro Messposition
  • Stationäre oder roboterbasierte Prüfung
  • Software-Anbindung über das Micro-Epsilon 3D-SDK, basierend auf Industriestandards
  • GigE Vision und GenICam

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